廢氣處理的原理有活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、等離子法等多種原理。

廢氣處理方法之一 掩蔽法 脫臭原理：采用更強烈的芳香氣味與臭氣摻和，以掩蔽臭氣，使之能被人接收。適用范圍：適用于需立即地、暫時地消除低濃度惡臭氣體影響的場合，惡臭強度2.5左右，無組織排放源。優點：可盡快消除惡臭影響，靈活性大，費用低。缺點：惡臭成分并沒有被去除。

廢氣處理方法之二 稀釋擴散法 脫臭原理：將有臭味地氣體通過煙囪排至大氣，或用無臭空氣稀釋，降低惡臭物質濃度以減少臭味。適用范圍：適用于處理中、低濃度的有組織排放的惡臭氣體。優點：費用低、設備簡單。缺點：易受氣象條件限制，惡臭物質依然存在。

廢氣處理方法之三 熱力燃燒法與催化燃燒法 脫臭原理：在高溫下惡臭物質與燃料氣充分混和，實現完全燃燒適用范圍：適用于處理高濃度、小氣量的可燃性氣體。優點：凈化效率高，惡臭物質被徹底氧化分解。缺點：設備易腐蝕，消耗燃料，處理成本高，易形成二次污染。